Papillon d'échappement papillon MKS T2BA, KF40, "F-Seal" (joint torique Viton sur clapet), RS232, alimentation du capteur (pour Baratron). Réf : T2BA01K320003V210025

Le papillon des gaz d'échappement MKS T2BA est spécialement conçu pour les applications où un système de contrôle de pression simple mais avancé est souhaité. Le T2BA intègre tous les circuits de commande, de communication et de pilotage dans un ensemble papillon des gaz, éliminant ainsi le besoin de monter un module électronique de contrôle de pression séparé. L'algorithme de contrôle unique basé sur un modèle et le fonctionnement à grande vitesse amènent le système à atteindre rapidement le point de consigne avec un minimum de dépassement et garantissent des recettes de processus reproductibles sans intervention de l'opérateur.

Caractéristiques du produit:

• Système de contrôle de pression compact - vanne avec électronique de commande intégrée
  - Intégration facile, pas besoin de câbles supplémentaires ni d'espace rack
• Configurations haute vitesse disponibles (<250 ms d'ouverture à fermeture)
  - Point de consigne et récupération plus rapides suite aux perturbations de débit et de pression
  - Permet un débit d'outils élevé
• Entraînements à couple élevé sélectionnables
- Prolonge la disponibilité dans des conditions de processus difficiles
• Entrée de capteur Baratron® à double canal avec commutation automatique de plage
- Prend en charge une large plage de contrôle de pression dynamique
- Permet une précision de contrôle de haute pression
• Algorithme avancé de contrôle de pression basé sur un modèle
- Minimise le temps nécessaire pour régler le point
- Garantit des recettes de processus reproductibles sans intervention de l'opérateur
• Disponible en versions à joint souple à faible conductance
- Prend en charge les processus à haute pression même à faibles débits (Epi, RTP, SACVD et plus)
- Convient aux applications « échappement domestique » ou atmosphériques
• Fournit l'alimentation pour les manomètres capacitifs Baratron connectés (en option, certains modèles)

Le papillon des gaz d'échappement T2BA peut fonctionner selon deux modes principaux : positionnement du clapet ou contrôle de la pression, l'un ou l'autre pouvant être activé par l'utilisateur via l'interface E/S. Tous les paramètres de configuration réglables, le fonctionnement en temps d'exécution et les informations de diagnostic sont disponibles via l'interface de communication. EtherCAT T2BA est entièrement compatible avec les manomètres EtherCAT. Les manomètres analogiques nécessitent une passerelle.

La technique de contrôle de pression en aval offre une large plage dynamique, fonctionne avec tous les types de pompes, fournit une réponse rapide et est tolérante à la plupart des gaz effluents. Le concept « d'instrument intelligent » permet de gagner de l'espace dans le système, d'améliorer l'immunité au bruit et d'accéder facilement aux informations de processus et d'étalonnage critiques ainsi qu'aux fonctions de diagnostic embarquées.

Le T2BA utilise un moteur pas à pas haute vitesse à entraînement direct. Le pilote de vanne permet un contrôle de pression haute résolution. Le moteur à entraînement direct à couple élevé en option offre une disponibilité prolongée et allonge les cycles de maintenance préventive — un avantage considérable dans les processus exigeants où une seule heure d'arrêt peut coûter des milliers de dollars. Le T2BA est également disponible en versions à engrenages, offrant un couple maximal et permettant un fonctionnement à long terme dans des environnements difficiles. Les vannes T2BA peuvent en option être chauffées jusqu'à 200 °C avec des réchauffeurs externes MKS disponibles (une sélection appropriée des matériaux d'étanchéité est requise).

Le T2BA est disponible dans des versions MKS uniques à faible conductance, permettant un contrôle de pression à grande vitesse dans les applications atmosphériques, y compris le contrôle de la pression d'échappement, CVD et RTP sans avoir besoin de recourir à des conceptions basées sur des joints toriques pour minimiser la conductance des vannes. Un système de retour de position basé sur un codeur est fourni à des fins de diagnostic. La vanne est construite en acier inoxydable 316 résistant à la corrosion, compatible avec la plupart des gaz de procédé et est disponible dans des styles de brides ISO standard avec des alésages de 1" à 4" (autres tailles disponibles sur mesure). Les joints standard proposés sont le Viton®, d'autres matériaux peuvent être spécifiés pour assurer la compatibilité avec divers procédés chimiques et/ou applications chauffées.